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题名:
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日中中日半导体制造技术用语词典 / 林少霖编 , |
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ISBN:
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978-7-81118-773-1 价格： CNY68.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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382页 图 19cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海大学出版社 出版日期： 2011.06 |
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内容提要:
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本词典主要收集了有关半导体制造技术方面的用语, 包括半导体设计、材料、硅氧化、光刻刻蚀、扩散和离子注入、掺杂、晶体生长、曝光等基本专业词汇。 |
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主题词:
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半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN305-61 版次： 4 |
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主要责任者:
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林少霖 编 |