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题名:
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微纳系统技术与应用 / 姚军，汪为民编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-032103-9 价格： CNY50.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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216页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2011 |
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内容提要:
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本书系统阐述了微纳结构与系统的知识，主要包括微纳系统的基本概念、所用材料、加工方法、在多学科交叉领域的具体应用等。另外，本书还详细探讨了微纳系统领域内一些热点研究方向的最新成果，包括MEMS空间光调制器、MEMS开关、光纤传感器、气体传感器等，并按照设计、加工、测试、封装这一完整流程阐述了研发的方法和技巧，通过实例对各个研发环节的实践经验进行了简明介绍。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 5 |
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主要责任者:
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姚军 编著 |
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主要责任者:
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汪为民 编著 |