|
题名:
|
微纳尺度制造工程
/
斯蒂芬 A.坎贝尔著
,
|
|
ISBN:
|
978-7-121-11804-3
价格：
CNY69.00
|
|
语种:
|
eng
|
|
载体形态:
|
637页
23cm
|
|
出版发行:
|
出版地：
北京
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
2010
|
|
内容提要:
|
本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。
|
|
主题词:
|
微电子技术
高等学校
|
|
中图分类法:
|
TN405
版次：
5
|
|
主要责任者:
|
坎贝尔
著
|
|
版次:
|
第3版
|
|
附注:
|
国外电子与通信教材系列
|