科图分类法:	TK7875 版次：
中图分类法:	TN4 版次：
题名:	Advanced RF MEMS / / ,
出版发行:	出版地： Cambridge ; 出版社： Cambridge University Press, 出版日期： 2010.
载体形态:	xxviii, 412 p. : ill. ; 25 cm.
主题词:	Radio frequency microelectromechanical systems.
主要责任者:	Lucyszyn, S.