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题名:
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微机电系统设计 / 卢桂章, 赵新著 , |
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ISBN:
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978-7-03-029220-9 价格： CNY56.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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278页 图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2010 |
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内容提要:
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本书建立了一种微电子机械器件的设计方法，对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善，其基本思路是在设计阶段，当版图和工艺设计完成后，通过建立运动部件的动态模型，进行三维可视化仿真，形成器件在虚拟环境中运行，从而对器件的运动功能进行评测。 |
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主题词:
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微电机 系统设计 |
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中图分类法:
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TM380.2 版次： 4 |
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其它题名:
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建模、仿真与可视化 |
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主要责任者:
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卢桂章 著 |
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主要责任者:
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赵新 著 |