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题名:
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微机电系统
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苑伟政, 乔大勇编著
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ISBN:
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978-7-5612-3030-5
价格：
CNY28.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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207页
图
26cm
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出版发行:
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出版地：
西安
出版社：
西北工业大学出版社
出版日期：
2011
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内容提要:
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本书共分为六章，分别介绍MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。
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主题词:
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微电子技术
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中图分类法:
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TN4-43
版次：
5
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主要责任者:
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苑伟政
编著
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主要责任者:
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乔大勇
编著
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附注:
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普通高等教育“十一五”国家级规划教材·高等学校教材
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