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题名:
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微纳加工科学原理 / 唐天同, 王兆宏著 , |
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ISBN:
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[不详] 价格： CNY[不详] |
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ISBN:
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978-7-121-11018-4 价格： CNY89.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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10,525页 27cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2010 |
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内容提要:
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本书论述现代微米与纳米微细加工的科学原理。主要内容包括：光子、电子、离子和等离子体及其作用，常用的衬底与薄膜材料，微细图形技术，薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法，以及微细结构的光学、电子显微、声学、扫描探针显微等微观分析和表征手段。 |
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主题词:
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大规模集成电路 电路理论 |
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中图分类法:
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TN470.1 版次： 4 |
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主要责任者:
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唐天同 著 |
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主要责任者:
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王兆宏 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金 电子信息科技专著出版专项资金资助出版 |