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中图分类法:
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TN402 版次： |
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著者:
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Bao, Min-Hang. |
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题名:
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Analysis and design principles of MEMS devices / / , |
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出版发行:
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出版地： Amsterdam ; 出版社： Elsevier, 出版日期： 2005. |
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载体形态:
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xii, 312 p. : ill. ; 25 cm. |
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主题词:
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Microelectromechanical systems. |