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题名:
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薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用 / 张亚非, 陈达著 , |
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ISBN:
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978-7-313-06516-2 价格： CNY48.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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174页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海交通大学出版社 出版日期： 2011 |
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内容提要:
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随着薄膜与微纳制造技术的发展，电子器件正向微型化、高密集复用、高频率和低功耗的方向迅速发展。近年来发展起来的薄膜体声波谐振器(FBAR)的工作频率比传统声表面(SAW)器件、石英晶体谐振器和陶瓷介质器件都要高(可达1)。 |
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主题词:
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薄膜 声表面波谐振器 |
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中图分类法:
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TN62 版次： 5 |
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主要责任者:
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张亚非 著 |
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主要责任者:
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陈达 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金 |