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题名:
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SOI —— 纳米技术时代的高端硅基材料 / 林成鲁编著 , |
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ISBN:
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978-7-312-02233-3 价格： CNY88.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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468页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 合肥 出版社： 中国科学技术大学出版社 出版日期： 2009.06 |
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内容提要:
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本书收集的纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇, 主要内容包括: SOI —— 纳米技术时代的高端硅基材料进展, SOI新材料的制备科学, SOI材料与器件特有的物理效应, 绝缘体上锗硅 (silicon germanium on insulator, SGOI) 新结构和应变硅的制备科学, SOI技术的若干应用研究等。书中包含了高端硅基材料前沿领域的多方面创新研究成果。 |
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主题词:
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纳米材料 硅基材料 |
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中图分类法:
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TN304.2 版次： 4 |
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主要责任者:
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林成鲁 编著 |