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题名:
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微机电系统工程基础 / 王琪民, 刘明侯, 秦丰华编著 , |
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ISBN:
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978-7-312-02468-9 价格： CNY38.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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370页, [2] 页图版 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 合肥 出版社： 中国科学技术大学出版社 出版日期： 2010.01 |
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内容提要:
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本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章, 较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等, 还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识, 分析了微系统中的工程特点等。 |
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主题词:
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微电机 系统工程 |
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中图分类法:
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TM38-43 版次： 4 |
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主要责任者:
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王琪民 编著 |
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主要责任者:
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刘明侯 编著 |
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主要责任者:
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秦丰华 编著 |