|
题名:
|
半导体材料测试与分析 / 杨德仁等著 , |
|
ISBN:
|
978-7-03-027036-8 价格： CNY78.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
xi, 381页 图 25cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2010.04 |
|
内容提要:
|
本书主要介绍半导体材料的各种测试分析技术, 涉及测试技术的基本原理、仪器结构、样品制备和应用实例等内容: 包括四探针电阻率、无接触电阻率等。 |
|
主题词:
|
半导体材料 测试技术 |
|
中图分类法:
|
TN304.07 版次： 4 |
|
主要责任者:
|
杨德仁 著 |