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题名:
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微机电系统与设计
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娄利飞编著
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ISBN:
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978-7-121-10808-2
价格：
CNY28.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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204页
图
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
2010
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内容提要:
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本书共8章，内容包括：微机电系统概论、微机电系统的工作原理、用于微机电系统的材料、微机电系统的相关制造技术、微机电系统的设计和建模、微机电系统设计中的工程力学和尺度效应等。
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主题词:
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微电子技术
高等学校
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中图分类法:
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TN4-43
版次：
4
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主要责任者:
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娄利飞
编著
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