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题名:
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微电子制造技术概论 / 严利人, 周卫, 刘道广编著 , |
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ISBN:
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978-7-302-20818-1 价格： CNY19.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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164页 图 27cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社有限公司 出版日期： 2010.3 |
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内容提要:
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本书介绍和描述了集成电路工艺制造的成套工艺流程和各工艺单步的技术内容。对于流程的介绍，除举例和说明一般性流程特点之外，专有一章说明了流程调度实施的技术与算法；对于各工艺单步，首先根据各单项工艺技术的作用进行了粗略分类，在此基础上，从工艺原理、工艺设备技术特点、实践操作等不同侧面，进行了略做扩展的描述。 |
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主题词:
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微电子技术 概论 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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严利人 编著 |