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中图分类法:
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TM38 版次： |
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著者:
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Liu, Chang, (刘昶) |
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题名:
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Foundations of MEMS = [ 微机电系统基础 /] / , |
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其它题名:
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微机电系统基础 |
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出版发行:
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出版地： 北京: 出版社： China Machine Press, 出版日期： 2008. |
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载体形态:
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xvii, 530 p. : ill. ; 25 cm. |
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主题词:
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Microelectromechanical systems. |