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题名:
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微光机电系统
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(美)穆塔迈迪(Motamedi, Manouchehr E.)著
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周海宪,程云芳译
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ISBN:
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978-7-118-06365-3
价格：
CNY68.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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18,510页
图
23cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
国防工业出版社
出版日期：
2010
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内容提要:
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本书首先介绍集成电路的短暂历史和微加工的发展，然后对MEMS和微光学以及两种技术组合的发展潜力进行回顾和评述。
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主题词:
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微光技术
应用
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中图分类法:
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TH-39
版次：
4
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主要责任者:
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穆塔迈迪
著
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次要责任者:
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周海宪
译
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次要责任者:
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程云芳
译
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