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题名:
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微机电系统设计与加工 / (美) Mohamed Gad-el-Hak编 , 张海霞,赵小林等译 |
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ISBN:
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978-7-111-28597-7 价格： CNY63.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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536页,[4] 页图版 图(部分彩图) 27cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2010 |
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内容提要:
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本书内容包括: MEMS中的材料, MEMS制造, LIGA及其微模压, 基于X射线的加工, EFAB技术及其应用, 单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性, 用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀, 聚合物微系统: 材料和加工, 光诊断方法考察微流道的入口长度, 应用于航空航天的微化学传感器, 恶劣环境下的MEMS器件封装技术, 纳机电系统制造技术, 分子自组装基本概念及应用。 |
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主题词:
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微电机 系统设计 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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主要责任者:
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盖德 编 |
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次要责任者:
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张海霞 译 |
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次要责任者:
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赵小林 译 |
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责任者附注:
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责任者Gad-el-Hak规范汉译姓: 盖德 |