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题名:
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MEMS可靠性 / (日)O. Tabata,(日)土屋智由著 , 宋竞[等] 译 |
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ISBN:
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978-7-5641-1575-3 价格： CNY50.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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247页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 南京 出版社： 东南大学出版社 出版日期： 2009 |
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内容提要:
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本书分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法，包括MEMS材料的可靠性，微纳压痕仪，鼓胀测试，弯曲测试，单轴张应力测试，片上测试；第二部分论述MEMS器件的可靠性，包括压力传感器可靠性，惯性传感器可靠性，RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。 |
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主题词:
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微电子技术 可靠性 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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主要责任者:
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塔巴塔 著 |
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主要责任者:
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楚基亚 著 |
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次要责任者:
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宋竞 译 |