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题名:
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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 / Rebecca Cheung著 , 王晓浩,唐飞,王文弢译 |
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ISBN:
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978-7-03-026862-4 价格： CNY35.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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121页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2010 |
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内容提要:
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《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》内容简介：碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等，越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注，不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。 |
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主题词:
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半导体材料 微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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张 著 |
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次要责任者:
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王晓浩 译 |
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次要责任者:
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唐飞 译 |
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次要责任者:
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王文弢 译 |