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题名:
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可重入制造系统的控制 / 张洁, 吴立辉, 翟文彬著 , |
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ISBN:
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978-7-03-022636-5 价格： CNY55.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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296页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2009 |
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内容提要:
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本书主要从可重入制造系统的控制体系结构、控制方法和控制性能分析方法等角度对可重入制造系统控制问题进行介绍。重点介绍可重入制造系统的分层自适应控制体系结构、分层协同控制技术、重调度控制技术、预测控制系统控制的实验证平台和在企业车间的信息化系统进行介绍。实例验证表明, 本书提出的方法和技术可能效减少晶圆在制品库存, 缩短晶圆产品交货期, 提高半导体生产线的整体设备利用率, 提高半导体企业的市场响应速度。 |
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主题词:
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半导体工艺 自动控制 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 4 |
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主要责任者:
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张洁 著 |
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主要责任者:
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吴立辉 著 |
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主要责任者:
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翟文彬 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金资助出版 |