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题名:
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微电子机械加工系统(MEMS)技术基础
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孙以材，庞冬青编著
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ISBN:
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978-7-5024-4794-6
价格：
CNY26.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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194页
20cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
冶金工业出版社
出版日期：
2009
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内容提要:
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本书以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的，阐述其功能、所依据的物理原理及定律。本书还详细介绍了电学，热学和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法。
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主题词:
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微电子技术
机械加工
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中图分类法:
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TN405
版次：
4
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主要责任者:
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孙以材
编著
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主要责任者:
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庞冬青
编著
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