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题名:
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硅微机械传感器 / M. Elwenspoek,R. Wiegerink著 , 陶家渠等译 |
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ISBN:
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7-80144-606-2 价格： CNY35.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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306页 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 中国宇航出版社 出版日期： 2003 |
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内容提要:
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本书内容包括了MEMS介绍、微机械加工工艺、膜和梁的力学、机械变形换能、力和压力传感器、加速度和角速度传感器、流体传感器、谐振传感器、接口电路，以及MEMS封装。 |
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主题词:
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传感器 |
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中图分类法:
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TP212.12 版次： 4 |
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主要责任者:
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埃尔文斯波克 著 |
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主要责任者:
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维格英克 著 |
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次要责任者:
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陶家渠 译 |