题名:
微机电系统与微细加工技术   / 朱荻 ... [等] 编 ,
ISBN:
978-7-81133-238-4 价格: CNY30.00
语种:
chi
载体形态:
227页 图 23cm
出版发行:
出版地: 哈尔滨 出版社: 哈尔滨工程大学出版社[等] 出版日期: 2008.05
内容提要:
本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章, 包括微机电系统和微细加工技术的发展趋势, 对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。 
主题词:
微电机  
主题词:
特种加工   技术
中图分类法:
TM38-43 版次: 4
中图分类法:
TG66 版次: 4
主要责任者:
朱荻
主要责任者:
云乃彰
主要责任者:
汪炜