题名:
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微机电系统与微细加工技术 / 朱荻 ... [等] 编 , |
ISBN:
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978-7-81133-238-4 价格: CNY30.00 |
语种:
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chi |
载体形态:
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227页 图 23cm |
出版发行:
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出版地: 哈尔滨 出版社: 哈尔滨工程大学出版社[等] 出版日期: 2008.05 |
内容提要:
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本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章, 包括微机电系统和微细加工技术的发展趋势, 对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。 |
主题词:
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微电机 |
主题词:
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特种加工 技术 |
中图分类法:
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TM38-43 版次: 4 |
中图分类法:
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TG66 版次: 4 |
主要责任者:
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朱荻 编 |
主要责任者:
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云乃彰 编 |
主要责任者:
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汪炜 编 |