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题名:
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半导体芯片制造系统建模与优化调度控制 / 江志斌著 , |
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ISBN:
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978-7-313-06315-1 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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398页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海交通大学出版社 出版日期： 2011 |
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内容提要:
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本书主要包括半导体芯片制造系统的特点、生产调度控制的难点及国内研究现状, 拓展型面向对象Petri网的层次化建模方法, 基于规则和基于模型的实时派工控制模型, Res2仿真平台的基本架及关键技术, 基于随机规划的芯片制造系统产能规划方法, 基于多规则组合的两阶段的多目标优化调度方法, 基于问题分解的智能调度方法动态瓶颈的调度策略, 基于约束权重的动态在制品水平控制方法, 时变多目标优化调度方法。 |
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主题词:
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芯片 生产工艺 |
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中图分类法:
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TN430.5 版次： 5 |
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主要责任者:
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江志斌 著 |