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题名:
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微机电系统应用 / (美) Mohamed Gad-el-Hak编 , 张海霞, 赵小林, 金玉丰等译 |
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ISBN:
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978-7-111-26733-1 价格： CNY108.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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x, 467页 图 27cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2009 |
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内容提要:
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本书主要内容有惯性传感器; 微机械压力传感器: 器件、接口电路及性能; 表面微加工器件; 微执行期; 微机器人技术等。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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其它题名:
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微机电系统手册 |
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主要责任者:
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贾德-埃尔-哈克 编 |
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次要责任者:
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张海霞 译 |
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次要责任者:
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赵小林 译 |
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次要责任者:
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金玉丰 译 |
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责任者附注:
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编目员自译Gad-el-Hak汉译姓: 贾德-埃尔-哈克 |