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题名:
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微电子材料与器件制备技术 / 王秀峰, 伍媛婷编 , |
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ISBN:
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978-7-122-02445-9 价格： CNY39.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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225页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2008.05 |
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内容提要:
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本书以微电子材料对象, 以材料和器件的制备工艺为主线, 系统、全面地介绍了微电子材料与器件制备技术的前沿问题与进展。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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王秀峰 编 |
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主要责任者:
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伍媛婷 编 |