题名:
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半导体制造与过程控制基础 / (美) Gory S. May, Costas J. Spanos著 , 李虹, 肖春虹, 马俊婷译 |
ISBN:
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978-7-111-25665-6 价格: CNY60.00 |
语种:
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chi |
载体形态:
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XI, 377页 图 24cm |
出版发行:
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出版地: 北京 出版社: 机械工业出版社 出版日期: 2009.01 |
内容提要:
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本书详细地研究并阐述了在高产量制造环境中, 电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。 |
主题词:
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半导体工艺 |
中图分类法:
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TN305 版次: 4 |
主要责任者:
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梅 著 |
主要责任者:
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斯帕农斯 著 |
次要责任者:
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李虹 译 |
次要责任者:
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肖春虹 译 |
次要责任者:
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马俊婷 译 |
责任者附注:
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May规范汉译姓: 梅 Spanos规范汉译姓: 斯帕农斯 |