题名:
半导体制造与过程控制基础   / (美) Gory S. May, Costas J. Spanos著 , 李虹, 肖春虹, 马俊婷译
ISBN:
978-7-111-25665-6 价格: CNY60.00
语种:
chi
载体形态:
XI, 377页 图 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 机械工业出版社 出版日期: 2009.01
内容提要:
本书详细地研究并阐述了在高产量制造环境中, 电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。 
主题词:
半导体工艺  
中图分类法:
TN305 版次: 4
主要责任者:
主要责任者:
斯帕农斯
次要责任者:
李虹
次要责任者:
肖春虹
次要责任者:
马俊婷
责任者附注:
May规范汉译姓: 梅 Spanos规范汉译姓: 斯帕农斯