题名:
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半导体器件新工艺
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梁瑞林编著
,
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ISBN:
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978-7-03-021253-5
价格:
CNY23.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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194页
图
22cm
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出版发行:
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出版地:
北京
出版社:
科学出版社
出版日期:
2008
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内容提要:
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本书主要介绍了单晶硅圆片的加工技术,大规模集成电路的设计制版、芯片加工与封装检验技术,多种类型的半导体材料与器件的应用,及其未来的展望等内容。
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主题词:
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半导体器件
生产工艺
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主题词:
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半导体器件
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主题词:
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生产工艺
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中图分类法:
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TN303
版次:
4
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主要责任者:
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梁瑞林
编著
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