题名:
半导体器件新工艺   / 梁瑞林编著 ,
ISBN:
978-7-03-021253-5 价格: CNY23.00
语种:
chi
载体形态:
194页 图 22cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 科学出版社 出版日期: 2008
内容提要:
本书主要介绍了单晶硅圆片的加工技术,大规模集成电路的设计制版、芯片加工与封装检验技术,多种类型的半导体材料与器件的应用,及其未来的展望等内容。 
主题词:
半导体器件   生产工艺
主题词:
半导体器件  
主题词:
生产工艺  
中图分类法:
TN303 版次: 4
主要责任者:
梁瑞林 编著