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题名:
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微纳米MOS器件可靠性与失效机理 / 郝跃, 刘红侠著 , |
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ISBN:
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978-7-03-020586-5 价格： CNY78.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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446页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2008 |
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内容提要:
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本书主要介绍了微纳MOS器件失效机理与可靠性理论，目的是为读者在微电子器件可靠性理论和微电子器件的使用之间建立联系，向读者提供一些微纳MOS器件的主要可靠性问题和相应的解决办法。 |
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主题词:
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纳米材料 微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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郝跃 著 |
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主要责任者:
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刘红侠 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金资助出版 |