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题名:
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微系统设计与制造 / 王喆垚编著 , |
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ISBN:
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978-7-302-15196-8 价格： CNY59.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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15,648页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2008 |
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内容提要:
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本书介绍了微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术，以及前沿应用领域的多种典型器件。内容包括：微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统、光学微系统等。 |
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主题词:
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微电子技术 高等学校 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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王喆垚 编著 |
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附注:
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普通高等教育“十一五”国家级规划教材 清华大学信息科学技术学院教材——微电子光电子系列 |