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题名:
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微机电系统基础 / (美) Chang Liu著 , 黄庆安译 |
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ISBN:
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978-7-111-22333-7 价格： CNY49.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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XI, 365页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2007 |
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内容提要:
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全书共分16章。其中内容包括: 基本传感原理和制造方法、讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识、分别描述了静电、热、压阻、压电等。 |
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主题词:
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微电机 基本知识 |
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主题词:
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微电子技术 机电一体化 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： 4 |
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主要责任者:
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Liu 著 |
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次要责任者:
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黄庆安 译 |
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索书号:
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12 |