|
题名:
|
多晶硅生产技术 / 刘秀琼, 唐正林主编 , |
|
ISBN:
|
978-7-122-15622-8 价格： CNY36.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
252页 图 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2013 |
|
内容提要:
|
本书主要讲述了改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程。内容包括三氯氢硅的合成、精馏提纯；三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容，同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备、硅烷法制备高纯硅做了详细介绍。 |
|
主题词:
|
半导体材料 硅 |
|
主题词:
|
半导体材料 |
|
主题词:
|
硅 |
|
主题词:
|
生产工艺 |
|
中图分类法:
|
TN304.1 版次： 5 |
|
其它题名:
|
项目化教程 |
|
主要责任者:
|
刘秀琼 主编 |
|
主要责任者:
|
唐正林 主编 |