题名:
微机电系统集成与封装技术基础   / 娄文忠, 孙运强编著 ,
ISBN:
978-7-111-20917-1 价格: CNY29.00
语种:
chi
载体形态:
245页 图 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 机械工业出版社 出版日期: 2007
内容提要:
本书主要介绍微机电系统集成与封装技术。全书包括三个部分, 分别为: 微机电系统集成技术基础、微机电系统封装技术基础、微机电系统集成与封装的应用。 
主题词:
微电子技术   封装工艺
中图分类法:
TN405.94 版次: 4
主要责任者:
娄文忠 编著
主要责任者:
孙运强 编著