题名:
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微机电系统集成与封装技术基础
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娄文忠, 孙运强编著
,
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ISBN:
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978-7-111-20917-1
价格:
CNY29.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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245页
图
26cm
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出版发行:
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出版地:
北京
出版社:
机械工业出版社
出版日期:
2007
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内容提要:
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本书主要介绍微机电系统集成与封装技术。全书包括三个部分, 分别为: 微机电系统集成技术基础、微机电系统封装技术基础、微机电系统集成与封装的应用。
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主题词:
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微电子技术
封装工艺
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中图分类法:
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TN405.94
版次:
4
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主要责任者:
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娄文忠
编著
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主要责任者:
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孙运强
编著
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