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中图分类法:
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TN4-532 版次： |
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题名:
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Reliability, packaging, testing, and characterization of MEMS/MOEMS V : [ 25-26 January, 2006, San Jose, California, USA /] / , |
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出版发行:
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出版地： Bellingham, Washington : 出版社： SPIE, 出版日期： c2006. |
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载体形态:
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1 v. : ill. ; 28 cm. |
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主题词:
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Microelectromechanical systems Reliability |
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主题词:
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Microelectromechanical systems Testing |
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主要责任者:
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Tanner, Danelle Mary, |
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主要责任者:
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Ramesham, Rajeshuni. |