题名:
集成电路工艺中的化学品
/ 戴猷元, 张瑾编 ,
ISBN:
978-7-5025-9934-8 价格： CNY28.00
语种:
chi
载体形态:
188页 图 24cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
化学工业出版社
出版日期： 2007
内容提要:
全书共7章, 内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品、刻蚀技术及化学品、化学机械抛光技术及化学品、载气及其他化学品。
主题词:
化工产品
应用
中图分类法:
TN4 版次： 4
主要责任者:
戴猷元
编
主要责任者:
张瑾
编