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中图分类法:
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TN201 版次： |
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中图分类法:
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TN4 版次： |
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著者:
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Ukita, H. |
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题名:
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Micromechanical photonics / / , |
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出版发行:
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出版地： Berlin ; 出版社： Springer, 出版日期： c2006. |
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载体形态:
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xi, 250 p. : ill. ; 24 cm. |
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主题词:
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Photonics. |
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主题词:
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Microelectronics. |
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主题词:
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Microelectromechanical systems. |