题名:	微机电系统技术基础 / 石庚辰, 郝一龙编 ,
ISBN:	7-5083-4384-0 价格： CNY27.00
语种:	chi
载体形态:	268页图 24cm
出版发行:	出版地：北京出版社：中国电力出版社出版日期： 2006
主题词:	微电机高等学校
中图分类法:	TM38 版次： 4
主要责任者:	石庚辰编
主要责任者:	郝一龙编