中图分类法:	TN201 版次：
中图分类法:	TN4 版次：
著者:	Ukita, H.
题名:	Micromechanical photonics = [ 微机械光子学 /] / ,
其它题名:	微机械光子学
出版发行:	出版地：北京 : 出版社：科学出版社, 出版日期： 2007.
载体形态:	xi, 250 p. : ill. ; 25 cm.
主题词:	Photonics.
主题词:	Microelectronics.
主题词:	Microelectromechanical systems.