题名:	半导体制造系统调度 / 吴启迪等著 ,
ISBN:	7-121-03191-4 价格： CNY35.00
语种:	chi
载体形态:	250页图 26cm
出版发行:	出版地：北京出版社：电子工业出版社出版日期： 2006
主题词:	半导体工艺调度程序
中图分类法:	TN305 版次： 4
主要责任者:	吴启迪著
主要责任者:	乔非著
主要责任者:	李莉著
附注:	电子信息科技专著出版专项资金资助出版