题名:	微机电系统设计与制造 / 刘晓明, 朱钟淦编著 ,
ISBN:	7-118-04121-1 价格： CNY32.00
语种:	chi
载体形态:	371页图 23cm
出版发行:	出版地：北京出版社：国防工业出版社出版日期： 2005
主题词:	机电系统微型
主题词:	微电机高等学校
中图分类法:	TM38-49 版次： 4
主要责任者:	刘晓明编著
主要责任者:	朱钟淦编著
附注:	电子科技大学研究生系列教材建设项目