中图分类法:	TN305 版次：
著者:	Quirk, Michael,
题名:	Semiconductor manufacturing technology = [ 半导体制造技术 /] / ,
其它题名:	半导体制造技术
出版发行:	出版地： Beijing : 出版社： Publishing House of Electronics Industry : 出版日期： 2006.
载体形态:	18, 666 p. : ill. ; 25 cm.
主题词:	Electronic industries.
主题词:	Semiconductors Design and construction.
主要责任者:	Serda, Julian.