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中图分类法:
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TG174.44 版次： |
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著者:
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Wasa, Kiyotaka. |
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题名:
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Thin film materials technology : [ sputtering of compound materials /] / , |
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出版发行:
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出版地： Norwich, NY : 出版社： William Andrew Pub. ; 出版日期： c2004. |
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载体形态:
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xiv, 518 p. : ill. ; 24 cm. |
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主题词:
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Cathode sputtering (Plating process) |
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主题词:
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Thin films. |
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主要责任者:
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Kitabatake, Makoto. |
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主要责任者:
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Adachi, Hideaki. |