题名:
薄膜技术与薄膜材料
/ 田民波编著 ,
ISBN:
7-302-13238-0 价格： CNY150.00
语种:
chi
载体形态:
25, 962页 图 24cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
清华大学出版社
出版日期： 2006
内容提要:
本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析等。
主题词:
薄膜技术
研究
中图分类法:
TB43 版次： 4
主要责任者:
田民波
编著