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题名:
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SOI CMOS技术及其应用 / 黄如 ... [等] 编著 , |
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ISBN:
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7-03-015968-3 价格： CNY48.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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383页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2005 |
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内容提要:
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本书从材料、器件、工艺和电路角度系统的介绍了SOI CMOS 技术, 全书共分8章, 从材料制备技术开始详细分析了SOI CMOS期间的基本特性核物理效应, 并定量分析器件的理论模型等。 |
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主题词:
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绝缘衬底上外延硅MOS集成电路 |
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中图分类法:
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TN432 版次： 4 |
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主要责任者:
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黄如 编著 |