中图分类法:
TH-39 版次:
著者:
Kaltenbacher, Manfred,
题名:
Numerical simulation of mechatronic sensors and actuators / / ,
出版发行:
出版地: Berlin ; 出版社: Springer, 出版日期: c2004.
载体形态:
xv, 311 p. : ill. ; 24 cm.
主题词:
Microelectromechanical systems.
主题词:
Mechatronics.