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题名:
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微电子化学技术基础
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刘玉岭, 李薇薇, 周建伟编
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ISBN:
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7-5025-6548-5
价格：
CNY44.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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401页
图
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
化学工业出版社
出版日期：
2005
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内容提要:
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本书介绍了超大规模集成电路相关的化学技术, 内容涉及硅材料及硅化合物化学性质、衬底加工、环境净化、净化水的制备、净洗技术、硅气相外延等。
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主题词:
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微电子技术
化学
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中图分类法:
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TN4-43
版次：
4
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主要责任者:
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刘玉岭
编
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主要责任者:
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李薇薇
编
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主要责任者:
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周建伟
编
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附注:
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高等学校教材
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