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题名:
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Plasma etching in semiconductor fabrication / Russ A. Morgan , |
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ISBN:
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价格： ￥3.80 |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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316 p. |
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出版发行:
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出版地： Amsterdam 出版社： Elsevier 出版日期： 1985 |
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主要责任者:
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Morgan |