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语种:
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eng |
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中图分类法:
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TB43 版次： |
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著者:
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Konuma, Mitsuharu |
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题名:
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Plasma techniques for film deposition / / , |
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出版发行:
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出版地： Harrow : 出版社： Alpha Science International Ltd., 出版日期： 2005. |
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载体形态:
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337 p. 20cm |