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题名:
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微机电系统及其相关技术 / 章吉良, 杨春生等编著 , |
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ISBN:
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7-313-02307-3 价格： CNY15.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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163页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海交通大学出版社 出版日期： 2000 |
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内容提要:
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微型机电系统是一个新兴的研究领域, MEMS指的是可以批量制作的集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、信号传输和电源等于一体的微系统。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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主要责任者:
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章吉良 编著 |
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主要责任者:
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杨春生 编著 |
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附注:
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上海市研究生教育专项经费资助项目 |