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题名:
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微纳米技术及其应用 / 李德胜 ... [等] 编著 , |
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ISBN:
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7-03-015288-3 价格： CNY48.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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10, 285页 图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2005 |
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内容提要:
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本书在概述了微机电系统技术的发展背景、现状及应用前景的基础上, 论述了MEMS基本理论基础, 并对MEMS相关工艺做了详尽的介绍。书中分别介绍了MEMS的应用, 数种典型的物理传感器和化学传感器的工作原理及制造工艺等。 |
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主题词:
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纳米材料 新技术应用 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 4 |
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主要责任者:
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李德胜 编著 |
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附注:
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863计划MEMS重大专项资助课题 北京市自然科学基金委员会资助出版 北京工业大学“211工程”资助出版 |